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激光诱导化学气相沉积技术
一、激光诱导化学气相沉积制膜技术(论文文献综述)虞樱红[1](2020)在《多铁氟化物的磁性、铁电性研究》文中研究说明随着人们对器件小型化的要求越来越高,同时具有两种及以上功能...